ASMLについて

ASMLについて

リソグラフィ世界最大手

皆さんが初めて出会う根幹技術を担うテクノロジー企業

ASMLは、半導体業界におけるイノベーションリーダーです。半導体メーカーが量産ラインのリソグラフィプロセスでシリコン基板上にパターンを形成する際に必要なハードウエア、ソフトウエア、サービスの全てを提供しています。

1984年

会社創立

24k 人以上

従業員数

123

従業員の出身地

60拠点

世界16ヶ国に

ビジョン及びミッション


私たちは、技術で世界に貢献できると信じています。


ASMLのビジョンは、半導体技術が世界の隅々に行き渡り、社会が抱える大きな課題の解決にこの技術を役立たせることです。私たちは、お客様各社が製造する半導体製品の価値の継続的増大とコスト低減を後押しする製品とサービスを創出することによって、このビジョンを実現していきます。

ASMLの技術


私たちのチームは、変化をもたらす仕事をしています。


私たちのチームは、社会の至るところで使われる技術を提供する会社で働いています。


技術は、社会の中で役立つ力です。技術によって私たちは繋がり、私たちの暮らしかた、働きかた、遊びかたが変わっていきます。皆さんが毎日使っている電子機器は、ASMLのリソグラフィ装置無くしては製造できないものが殆どです。


ASMLは、世界有数の半導体メーカーが、半導体製品の高性能化と低価格化を追求するうえで必要なもの全てを提供しています。単純に言えば、ASMLは、半導体産業の大手企業を支援するリソグラフィ装置業界の最大手です。ASML本社は、ヨーロッパ随一の技術拠点として知られるオランダのアイントホーフェン・ブレインポート地区にあり、ヨーロッパ、アジア、米国で広く事業を展開しています。

ASMLで働くこと


ASMLで働くことは、世界規模のコラボレーションに加わることを意味しています。そこでは、創造性、多様性、ダイナミックな職場環境が尊重されています。


皆さんの優れた発想を持ち込み、その発想を行動に活かしていきましょう。自分の担当分野で、新しいことを試み、複雑な課題を解決していく自由、信頼、支援があります。絶えず新天地を切り開く日々には退屈などありません。


技術の最先端で急激に変化する事業環境ではありますが、ASMLでは、皆さんの仕事と生活のバランス、そして幸福をとても大事にしています。従業員の幸せ無くして、事業の成功はありません。

ASMLの技術


微細なパターンを形成する重要なプロセス


リソグラフィは、光を使ってシリコン表面に微細なパターンを描画する技術で、半導体製品の量産における基幹プロセスです


リソグラフィのしくみ


リソグラフィ装置は、基本的に投影システムであると言えます。描画されるパターンの設計図を刻んだもの(これを「マスク」もしくは「レチクル」と呼びます)を通して光が投影されます。この設計図は、実際に半導体デバイス上に描画されるパターンよりも4倍大きいサイズになっています。このパターン形状が光により符号化され、リソグラフィ装置の光学系によって縮小されて、シリコンウエハの感光性表面に投射されます。パターンが一つ描画されると、装置内でウエハが少し動き、ウエハ上の次の場所に同様にパターンが描画されていきます。

EUVリソグラフィ


ASMLは、世界で唯一、極紫外線(EUV)を使ったリソグラフィ装置を製造する企業です。極紫外線(EUV)の力を利用し、EUVリソグラフィを実用化するため、ASMLは、過去20年以上に渡って研究開発を続け、極めて難しい技術的課題に取り組んできました。

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ASMLでは、現在、開口数(NA)を0.55にまで引き上げた「High-NA」次世代EUVリソグラフィプラットホームの開発を進めています。このプラットホームでは、光学系の設計が一新され、ステージの移動速度も一段と速くなっています。このプラットホームにより、解像度並びに重ね合わせ精度が現行のEUVプラットホームに比べて70%向上するため、今後10年間以上に渡ってデバイスの微細化を継続できるようになります。

DUVリソグラフィ


ASMLのDUV(深紫外線)リソグラフィプラットホームは、半導体産業を支える「一番の働きもの」で、広範囲に渡るデバイス世代と多種多様なデバイス技術の製造に寄与する液浸リソグラフィ並びにドライリソグラフィのソリューションを提供しています。


ASMLの液浸リソグラフィ装置及びドライリソグラフィ装置は、最先端のロジック及びメモリデバイスの量産において、業界最高の生産性、結像性能、そして重ね合わせ精度を実現しています。

評価計測&検査


ASMLの評価計測ソリューションは、シリコンウエハ上の結像性能を短時間で測定し、測定データをリアルタイムでリソグラフィ装置にフィードバックすることができ、これにより半導体製品の量産ラインにおけるリソグラフィ性能を安定した状態に維持することに寄与しています。また、ASMLの検査ソリューションは、ウエハ上に描画された何十億ものパターンの中にある個々のデバイス欠陥の発見と分析に役立っています。

ソフトウエア


ASMLのハードウエアをバットマンに例えるとすれば、ソフトウエアはロビンということになります。ASMLはハードウエア企業に分類されてはいますが、実際には、ソフトウエアの領域でも世界最大級で最先端を走る企業なのです。自社開発したソフトウエア無くしては、微細化の一途を辿る半導体デバイスを弊社のリソグラフィ装置で製造することはできません。

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その結果、ASMLのリソグラフィ装置は、現在、ハイテクを駆使したハードウエアと最先端のソフトウエアのハイブリッドとなっています。ASMLの開発チームは、多岐に渡るプログラミング作業に取り組み、エレクトロニクス産業の心臓部に位置する半導体製造装置に影響を与える複雑な問題に対する革新的なソリューションを提供しています。

ASMLで働くこと